濕電子化學品概述

濕電子化學品，又稱超凈高純試劑或工藝化學品，是指主體成分純度大于 99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴格要求的化學試劑。主要以上游硫酸、 鹽酸、 氫氟酸、 氨水、 氫氧化鈉、 氫氧化鉀、 丙酮、 乙醇、 異丙醇等為原料，經(jīng)過預(yù)處理、 過濾、 提純等工藝生產(chǎn)得到的高純度產(chǎn)品。

濕電子化學品是微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種液體化工材料，是電子技術(shù)與化工材料相結(jié)合的創(chuàng)新產(chǎn)物，具有技術(shù)門檻高、資金投入大、產(chǎn)品更新?lián)Q代快等特點。

濕電子化學品的分類

1.按用途分

濕電子化學品按用途主要分為通用化學品和功能性化學品兩類。其中通用化學品以高純?nèi)軇�為主，例如氧化氫、氫氟酸、硫酸、磷酸、鹽酸、硝酸等；功能性化學品指通過復(fù)配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類或復(fù)配類化學品，主要包括顯影液、剝離液、清洗液、刻蝕液等。

2.按應(yīng)用領(lǐng)域分

濕電子化學品目前廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能電池等多個領(lǐng)域，其中液晶面板領(lǐng)域增速快。即按下游產(chǎn)品應(yīng)用的工藝環(huán)節(jié)分，主要有平板顯示制造工藝的應(yīng)用、半導(dǎo)體制造工藝的應(yīng)用及太陽能電池板制造工藝的應(yīng)用。

      其中平板顯示制造領(lǐng)域?qū)�濕電子化學品的需求量最高，半導(dǎo)體制造工藝用濕電子化學品是技術(shù)要求最高，太陽能電池板制造用濕電子化學品盈利能力一般。

濕電子化學品主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏領(lǐng)域等微電子器件制造領(lǐng)域，廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路、LED、TFT-LCD面板制造過程、太陽能硅片的蝕刻與清洗。

超凈高純試劑的應(yīng)用多種多樣，例如在晶圓生產(chǎn)過程中對于晶圓的清洗，在芯片制造光刻工藝中的刻蝕、顯影和洗脫過程，同時在芯片制造和 PCB 板制造中的電鍍液（例如硫酸銅）的制備原料硫酸也屬于超凈高純試劑范疇。晶圓清洗試劑是前端加工關(guān)鍵工藝。由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當微細，因此制造過程中，如果遭到塵粒、金屬的污染，很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞，形成短路或斷路等，導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在集成電路加工之前，必須對晶圓進行清洗，清除殘留在晶圓上之微塵、 金屬離子及有機物之雜質(zhì)。